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1.符合國家壓力容器安檢合格 2.獨特內壓穩定設計、循環氣體經HEPA再流向工作物確保氣體潔淨度 3.爐內增壓氣體可自由選用CDA/N2 4.溫度/壓力可做多段控制 5.水冷/氣冷降溫系統節省製程冷卻時間 6.雙腔低壓差控制傳動機構(獨特專利設計) 7.軟體操作採下拉式功能表，操作方便 8.機台溫度與壓力狀況即時顯現/監控 9.V系列設備增加真空功能，製程多元化
