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1.採用13.56MHz的RF電源搭配自動匹配輸出，達到最大功率輸出
2.利用活性自由基進行物理與化學反應，提高清潔效果
3.腔體內置可拆卸、調整的電極層架，以對應各種尺寸彈匣、Tray 盤和 Wafer
4.操控採人性化圖形介面設計
5.佔地面積小
