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1. 腔體內特殊流場設計提高電漿均勻性 2. 荷重感應器設計，避免產品毀損 3. 4列軌道同步清洗設計，有效提升UPH 4. 適用廣泛Lead frame尺寸，輕鬆切換即可對應不同尺寸產品 5. 可搭配Loader及unloader單站使用，亦可連線搭配前後站機台
