1.发光波长 DUV：185nm及254nm EUV：172nm 2.搬送型式：RobotorConveyor […]
1.适用薄膜尺寸：宽幅200mm~600mm 2.适用薄膜厚度：50µm~200µm(不含保护膜) 3.0.5 […]
1.VOC处理量：40~120M³/min.2.尺寸W/L/H(mm)：3250/2350/2100
待开发
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1.适用范围： 长：200m 宽：250/500mm 厚：0.035-0.4mm 2.机台外型(W/D/H)： […]
1.适用范围： 长：250-640mm(10″to25″) 宽：250-640mm(1 […]
请参阅型录
