紫外线清洗机
1.发光波长
DUV：185nm及254nm
EUV：172nm
2.搬送型式：RobotorConveyor
3.清洗效果：水接触角≦5∘
4.UV强度均匀度：≧90%
5.洁净度：Class10
1.DUV采用185nm及254nm波长/EUV采用172nm波长有效的清除玻璃基板表面有机物质
2.采用电子式安定器，可精密控制灯管输出功率
3.实时监控紫外线强度，可回授实时进行灯管输出功率控制
4.可对应G3.5~G8.6世代
5.应用先进制程控制(APC)，收集机台相关数据与数据
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