[内层][自动]
散射光大台面曝光机

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散射光大台面曝光机

SKU:UVE-A282

1.适用范围:
制程板尺寸:254x305mm~609.6x762mm(10″x12″~24”~30″)
制程板厚度:0.05~2mm
底片尺寸:26″x32″
2.机台外型(W/D/H):3540/2750/2305(mm)

1.高精度:台面对位精度3σ<10μm 2.入料传动为非接触式磁环设计+SUS抛光滚轮 3.高刚性底座与带板结构,强化机台稳定性 4.伸缩式视觉与背光模块,提高最大板边利用率 5.高解析台框设计 6.新型对位算法,保证均分底片误差 7.散射光使用低耗能6kw灯管 8.双面同时曝光

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