PI軟顯固烤爐

PI軟顯固烤爐

  1. 適用尺寸:G2~G6
  2. 最高使用溫度:600℃
  3. 溫度均勻性:±4℃
  4. 升降溫速率:≧8℃/Min.
  5. 含氧控制能力:≦100ppm
  6. 有機揮發物自動燒除功能
  1. 採用IR加熱,升溫速度快
  2. 溫度均勻性佳
  3. N2回收系統
  4. Solvent處理系統
  5. 可搭配揮發物處理系統,降低製程污染與環境異味
  6. 搭配Robot自動傳片
  7. 可即時監控基板溫度

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