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規格
特色
適用尺寸:G2~G6
最高使用溫度:600℃
溫度均勻性:±4℃
升降溫速率:≧8℃/Min.
含氧控制能力:≦100ppm
有機揮發物自動燒除功能
採用IR加熱,升溫速度快
溫度均勻性佳
N2回收系統
Solvent處理系統
可搭配揮發物處理系統,降低製程污染與環境異味
搭配Robot自動傳片
可即時監控基板溫度
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