設備內箱尺寸(W/D/H，cm) SMO-1B：45/40/40 SMO-3︰60/50/90 SMO-4：8 […]

基板尺寸： 長度 ： 250 ~ 610 m/m 寬度 ： 250 ~ 610 m/m 厚度 ：0.05(不含 […]

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適用範圍： 製程板尺寸：254x304mm(10″x12″)~558.8x635mm( […]

適用範圍： 製程板尺寸：305x356mm(12″x14″)~558x635mm(22 […]

適用範圍： 製程板尺寸：305x356mm~559x635mm(12″x14″~22& […]

1.適用範圍： 製程板尺寸：305x355mm(12″x14″)~546x622mm( […]

適用範圍： 製程板尺寸：305x355mm(12″x14″)~546x622mm(21 […]

適用範圍： 製程板尺寸：1300x650mm(25″x25″，2片) 機台外型(W/D […]