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1.溫度：280℃
2.均勻度：280℃ ±3℃
3.潔淨度：Class100
4.含氧量：100/ 50/ 10ppm (35min)
5.應用尺寸：6″/ 8″/ 10″/ 12″
6.最大對應尺寸：510 x 510mm
其他詳細規格可依需求洽談
