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1.適用於8″/12″晶圓 2.系統可選擇2~6個製程腔 3.穩定的傳輸系統 4.全面數位控制系統，具備聯網功能 5.3種製程模式選擇：微波、射頻、微波+射頻 6.低損傷微波電漿系統 7.高密度微波電漿提升電漿處理效率 8.遠程電漿系統可以降低製程溫度及電漿損傷
