IGZO熱處理退火爐

IGZO熱處理退火爐

  1. 最高使用溫度:450℃
  2. 溫度均勻性:±3℃
  3. 含氧控制能力:3%~30%,±1%
  4. 濕度控制能力:絕對溼度5%~30%,±1%
  5. 潔淨度:Class10
  6. 多段式溫度控制
  7. Recipe編輯管理
  1. 可提供熱風/熱板型式
  2. 爐內可做高氧、低氧、高濕度等環境控制
  3. 爐內潔淨度可達Class10
  4. 可對應G3.5~G10.5世代
  5. 廢氣回收再利用,熱交換率>40%
  6. 應用先進製程控制(APC),收集機台相關資料與數據,即時處理系統即時錯誤診斷與分類

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