1. 基板尺寸:
    長度:260-610 mm
    寬度:250-610 mm
    板厚:0.05-2 mm (不含銅;單邊銅厚≥1/3oz
  2. 機台外型(L/W/H):29000/1480/2368 mm,2210kg
  3. 壓膜製程:
    輸送速度:1~10 M/min(可調)
    真空範圍:20~0.2 Torr
    加壓壓力:0~5kg/cm2
    加熱器:3.4 KW x 2