紫外線清洗機
1.發光波長
DUV：185nm及254nm
EUV：172nm
2.搬送型式：RobotorConveyor
3.清洗效果：水接觸角≦5∘
4.UV強度均勻度：≧90%
5.潔淨度：Class10
1.DUV採用185nm及254nm波長/EUV採用172nm波長有效的清除玻璃基板表面有機物質
2.採用電子式安定器，可精密控制燈管輸出功率
3.即時監控紫外線強度，可回授即時進行燈管輸出功率控制
4.可對應G3.5~G8.6世代
5.應用先進製程控制(APC)，收集機台相關資料與數據
