[内层][自动]
平行光曝光机
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平行光曝光机
SKU：UVE-A260
产品联络人
(台湾)廖先生
1.适用范围：
制程板尺寸：254×304.8mm(10″x12″)~558.8x635mm(22″~25″)
制程板厚度：0.05~2mm
底片尺寸：24″x27″
2.机台外型(W/D/H)：2840/2900/2237.5(mm)
1.高产速：机械动作时间8秒
2.高精度：台面对位精度3σ<10μm
3.高解析：平行光线路解析2mi/2mi保证
4.全机Class1000无尘等级
5.入出料传动磁力环设计无产尘疑虑
6.高刚性底座强化机台稳定度
7.PassLine高度950~1030mm符合无尘需求
8.移动式视觉与背光模块提高最大板边利用率
9.新型对位算法，保证均分底片误差
10.曝光室环境控制系统有效增加A/W稳定
11.线性马达移载系提高无尘度、精度、速度
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