X-RAY 雙軸鑽靶機

X-RAY 雙軸鑽靶機

產品型號:XD-200
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  1. ≦±15mmX及Y方向線性及面補償鑽靶精準度
  2. ≦±10mm靶中心見靶鑽精準度
  3. 層偏及漲縮量測功能及檢查,以判別基板Good/No Good,並進行分類
  4. 系統自我校正功能保證量產時長時間鑽靶的精準度
  5. 內建X-ray防洩漏包裝及隔離設計,保證無X-ray外洩發生
  6. 內建X-rayCamera傾斜、旋轉、位移誤差自動校正軟體功能
  7. 內建多種標準線性、多靶標面補償及N/C鑽靶模式
  8. 自動計算最佳化面補償鑽孔位置功能
  9. 完整的X及Y方向SPC報告
  10. 產能(每片)
    • 4s./2-hole
    • 8s./3-hole(3rd hole NC加工)
    • 16s./7-hole(inner 3holes NC加工)

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