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平行光曝光機

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平行光曝光機

產品型號:UVE-A220
  1. 適用範圍:
    製程板尺寸:254x305mm~558x635mm(10″x12″~22″~25″)
    製程板厚度:0.05~2mm
    底片尺寸:24″x27″
  2. 機台外型(W/D/H):2936/2435/2219(mm)
  1. 高精度:檯面對位精度3σ<10μm
  2. 機殼採SUS材質製造
  3. 入料滾輪採SUS拋光處理,確保整板品質
  4. 配重式靠邊對位,薄板不拱板
  5. 高解析台框設計
  6. 平行光使用低耗能5kw燈管
  7. 雙面同時曝光

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