紫外線清洗機

紫外線清洗機

1.發光波長
DUV:185nm及254nm
EUV:172nm
2.搬送型式:RobotorConveyor
3.清洗效果:水接觸角≦5∘
4.UV強度均勻度:≧90%
5.潔淨度:Class10

1.DUV採用185nm及254nm波長/EUV採用172nm波長有效的清除玻璃基板表面有機物質
2.採用電子式安定器,可精密控制燈管輸出功率
3.即時監控紫外線強度,可回授即時進行燈管輸出功率控制
4.可對應G3.5~G8.6世代
5.應用先進製程控制(APC),收集機台相關資料與數據

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