自動無塵/無氧烤箱
自動無塵/無氧烤箱
產品型號：HQMOL-A12
1.尺寸：W2460xD2170xH2500(mm)/3000KG
2.基板尺寸：300&301(mm)
3.基板厚度：MAX.600~1500μm
4.電力：AC220V3φ60HZ
5.氣壓：>5kgf/cm²
6.氮氣：>5kgf/cm²
1.符合SEMIS2認證
2.適用於高無塵室規格
3.快速溫度控制
4.均勻度極佳
5.搭配SECS/GEM
6.CIM系統
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