熱風多層爐
- 對應世代：G3.5~G10.5
- 可對應溫度範圍：120℃~350℃
- 均溫性佳：≦±3℃
- 含氧控制能力：3%~30%，±1%
- 潔淨度：Class10/100/1,000
- 運作方式：Robot傳輸
- Recipe編輯管理
- 製程應用
Array：高溫退火爐
CF：彩膜固化爐
Cell：框膠固化爐
其他：觸控屏、觸控屏蓋板 - 專利堆疊式Shutter設計，縮小玻璃基板層距，提高產能
- 有機揮發物特殊處理設計
- 分區溫度控制設計，溫度均勻性佳
- 應用先進製程控制(APC)，收集機台相關資料與數據，即時處理系統即時錯誤診斷與分類
- 銷售實績:AUO、InnoLux、HSD、CPT、Qualcomm、CANDO、WINTEK、BOE、CSOT、CEC、HKC、CHOT、TIANMA、IVO等，超過500台
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